特種氣體探測系統
2 生產工藝設備的自燃性、易燃性、劇毒性、毒性、腐蝕性氣體閥門箱的排風管口處，工藝設備的排風管口處；
3 生產工藝設備的特種氣體的廢氣處理裝置排風出管口處；
4 惰性氣體間可能產生窒息的區域；
6 其他可能發生泄漏的自燃性、易燃性、劇毒性、毒性、腐蝕性氣體的環境。
2 劇毒性、毒性氣體的一級報警設定值不應大于 50%空氣中有害物質的最高允許濃度值一時間加權平均容許濃度(TLV-TWA)，二級報警設定值不應大于100%空氣中有害物質的最高允許濃度值一時間加權平均容許濃度(TLV-TWA)；
3 設在惰性氣體間的氧氣探測器，其一級報警設定值不應小于19.5%氧氣體積濃度(V/V)，二級報警設定值不應小于18%氧氣體積濃度(V/V)；
4 二氧化碳氣體系統宜設二氧化碳氣體探測器，其報警設定值應為5000ppm。
2 劇毒性、毒性氣體檢測報警采用擴散式應小于40s，吸入式應小于20s；
3 氧氣檢測報警采用擴散式應小于20s，吸入式應小于15s。
5.2.1 本條是對電子工廠中設置特種氣體探測器位置的區域或場所的規定，本條第1款一第5款為強制性條款，必須嚴格執行。
1~3 自燃性、易燃性、劇毒性 、毒性 、腐蝕性氣體儲存 、分配設備的排風口，因發生特種氣體泄漏，可能達到規定報警濃度，應設氣體探測器。
4 使用惰性氣體房間應設置氧氣探測器 ，主要是因為惰性氣體泄漏后，可能使空氣中氧濃度降低到使房間的作業人員造成窒息，且國內外已有多個工廠發生惰性氣體造成人員窒息傷亡事故。
5 自燃性、易燃性 、劇毒性、毒性 、腐蝕性氣體儲存、分配間內的氣體發生泄漏、易積聚處應設氣體探測器，主要是因為氣體儲存、分配間的體積相對于生產區較小，發生泄漏容易聚集，并達到報警的數字。
《國際防火規范》FIC-201 8 第 27 03.13 條(氣體探測系統)也做了規定，該條款摘錄如下：
27章 半導體生產裝置
2703.13 氣體探測系統
符合196節的氣體探測系統將用于 HPM 氣體，按照2703.13.1至2703.13.2.2的要求，氣體和易燃性氣體的生理學報警閡值高于可接受允許暴露限制(Permissible Exposure Limit PEL)。
2703.13.1.1 生產區，使用 HPM氣體的電子生產區域應設置氣體偵測器。
2703.13.1.2 HPM房間，使用HPM氣體的HPM房間應設置氣體偵測器。
2703.13.1.3 氣體柜，密閉排風和氣體房 間。HPM 氣體的氣瓶柜和密閉排風環境，HPM 氣體未放置在氣瓶柜或密閉排風的環境應設置氣體偵測器。
2703.13.1.4 走道，H P M 氣 體穿越由墻、地面、頂面構成的走道應設置氣體偵測器。
5.2.2 由于自燃性、易燃性、有毒氣體一旦泄漏超過規定值，危害性極大，為此做了本條規定，一級報警后，即使氣體濃度發生變化，報警仍應持續，只有經人工確認并采取相應的措施后才能停止報警。
特 種氣體探測系統檢測裝置主要有以下幾種：
(1) 自燃性、易燃性氣體檢測采用催化燃燒型檢 測 裝 置 、半導體檢測裝置、電化學檢測裝置。
(3) 根據使用場所的不同確定不同特種氣體采樣方式，正確選用擴散式檢測裝置、單點或多點吸人式氣體檢測裝置。
5.2.3 為了明確檢測報警裝置的工作狀況，防止事故發生，本條規定了自燃性、易燃性、毒性氣體檢測裝置報警設定值的要求，本條第1款-第3款為強制性條款，必須嚴格執行。
1 本款規定了自燃性 、易燃性氣體的一級報警和二級報警設定值，一級報警設定值不應大于25%易燃性氣體爆炸濃度下限值，二級報警設定值不應大于50%易燃性氣體爆炸濃度下限值是為了在氣體早期泄漏時，通過一次和二次監測報警，自動關閉應急切斷閥，關斷氣源，防止事態擴大，采用25%和50%分別作為一級和二級報警值時行業內的通常做法，既可以判斷氣體泄漏，泄漏的氣體濃度又不會引起爆炸。
2 本款規定了劇毒性 、毒性氣體的一級報警和二級報警設定值，目的是在氣體早期泄漏時，自動關閉應急切斷閥，保護工作人員的生命安全，一級、二級報警設定值也是根據國內外多年的使用經驗規定的。
3 本款 規 定 了 惰性氣體間的氧氣探測器的一級報警和二級報警設定值，目的是為了防止惰性氣體泄漏導致人員窒息傷亡，氧氣探測器一旦報警，啟動應急排風和自動關閉應急切斷閥，保護工作人員的生命安全，一級、二級報警設定值也是根據國內外多年的使用經驗規定的。
4 本款規定 二 氧 化 碳氣體系統宜設二氧化碳氣體探測器，主要是因為近年來，電子工廠發生二氧化碳泄漏導致人員傷亡的情況，為保護人員生命安全，制定本款，目前國內電子工廠多采用5000ppm作為CO
2的報警值。美國消防協會標準《壓縮氣體和低溫液體規范》NFPA 55-2016第A.13.6.2.1條也做了規定，美國政府工業衛生醫師學會(ACGIH)關于TLVS和BEIS，即化學物質、物理藥物和生物暴露數組的臨界極限數組(TLVS)，CO2的最高允許濃度值一時間加權平均容許濃度(TLV-TWA)確定為5000ppm，短期數組(STEL-TLV)為30000ppm。5.2.5 氣體探測器的設置位置是否恰當將直接影響到能否及時、正確報警，為確保生產廠房和特種氣體系統安全、穩定運行，本條按特種氣體相對密度的不同，做出了氣體探測器的設置位置不同的規定。
5.2.6 本條為強制性條文，必須嚴格執行。規定在硅烷排風管道中設置氣體探測器，設定報警值并與硅烷氣源的自動切斷閥進行聯鎖，目的是為了硅烷系統能做到早期報警，防止事故產生。規定硅烷站設置環境氣體探測器，設定報警值但不與硅烷自動控制系統聯鎖，這是為了防止環境中的硅烷氣體探測器誤報警導致影響正常生產，綜合考慮安全與生產的關系后，規定報警但不切斷輸送系統，工作人員可在不停產的情況下，確認報警是否是由硅烷泄漏引起還是其他原因造成的誤報。美國國家標準學會標準《硅烷和硅烷混合物的儲存和操作》ANSI/CGAG-13-2015第n.1.4.1條(排風區域內的監控)和11.1.4.2條(排風區域外的監控)也做了規定，現摘錄如下：
11.1.4.1 排風區域內的監控：排風區域應設置監控裝置，當硅烷氣體濃度小于或等于50ppm時，氣體監控系統啟動報警。
11.1.4.2 排風區域外的監控：排風區域外應設置監控裝 置，當硅烷氣體濃度小于或等于5ppm 時，氣體監控系統啟動報警。
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